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Applied Surface Science, 638 (2023) 157923. doi:10.1016/j.apsusc.2023.157923 Atomic layer etching Cobalt oxide Surface reactions Oxidation state Crystal structure Acetylacetone Thermal atomic layer etching of CoO using acetylacetone and ozone: Evidence for changes in oxidation state and crystal structure during sequential exposures Jonathan L. Partridge Aziz I. Abdulagatov Varun Sharma Jessica A. Murdzek Andrew Cavanagh Steven M. George journal Applied Surface Science © 2023 Elsevier B.V. All rights reserved. 0169-4332 638 30 November 2023 2023-11-30 157923 157923 10.1016/j.apsusc.2023.157923 https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.157923 VoR 10.1016/j.apsusc.2023.157923 noindex 14th July 2023 Elsevier 2023-07-17T12:14:54-06:00 2023-07-12T20:48:59 2023-07-17T12:14:54-06:00 True 14th July 2023 Acrobat Distiller 8.1.0 (Windows) Atomic layer etching,Cobalt oxide,Surface reactions,Oxidation state,Crystal structure,Acetylacetone uuid:1b499bed-4ce8-4c0c-b682-0d58baae1cbe uuid:448a591c-f9f7-4000-a1ee-3c4a48a9ead9 endstream endobj 80 0 obj <>stream hÞ²´0U0P°´0S01Ræ †f 66úÎù¥y% ††úÞ™)ÅÑ y… ° «RY�ª�˜žZlg‡PmUmiV !Í!l#e ¦ŒLÁ”1D…1Äpej±" ±(h¨%Ø�A8l„XhjFP @€˜¥:Ø endstream endobj 81 0 obj <>stream hÞ|’[o1…ÿÊHyˆWZöÂ=(ŠDÙô!m$�ò‹±pºx¨/ ô×wvi¤4By³=gfÎùä›ñ ¸½Í§1ìȉ²2줅ŸÌ¥ Îè-&ùÌ¡ †l%вvðët‹nïÿb§³Äc¸,áñ÷µÇWƒ®y!ï¥ûUÑ^ë¯ßÊ«A%ðŸ"S´¿¨ê6*¯ Z…Ú8Tá,}ýŒëyõ}q@e6FµÆ¼eE’ÿÀÓ9íÅ4ÐÞ(¨å `P;c·éŒÖ²@G£1]D·‘ �m«vBúÄïí0ð�s¦3wâCÍ7UˆÓ©Âpª¹+�ed�¤[ZÕ¤APŒÊQÙ-ûƒ~§^Åu’Ïé¨Ð‰©r¼;@e|0uÍžÆY™°ÏÆjzó«$ÉqýÂYÅôp¨ jxw¸8“HaØsG³k•@9Ýt{h2“²ÈÊ¢æ/™<øèUÖh²³"É—&Ô(–;t{N#/�ÚÀŒž úæ"?¦i5Ð>Màþ•Á±Ø�Å_h‹Œm�~×¶¨Ïð@G×L÷ø;¢ †kx<�ç’OrN!¾NÁ)xa‰�á1¹»û+Àøkõ5 endstream endobj 82 0 obj <>/Filter/FlateDecode/ID[<898E80A0FA86974ABC146267DE2D1B97>]/Info 988 0 R/Length 383/Root 990 0 R/Size 989/Type/XRef/W[1 3 1]>>stream hÞìØ¿/CQð{__[Þè�„Xºx&‰hÂd“•!a3Ihã·Ádð;]HDÙ $baDšÆÀ_ ‹‘ò¾_â%}‘˜�ætøääÜsÏ}½ït©¡ð1t`÷An0ö žt5^ºçè! ¹êæQÖ£F¥ÒP]s5 cO\�Båjq5FS/kîé8lœ`ÌÊô<bæ–Й÷º•-ÁºS¯F Ó–g< �Y¯oh;V«½ÕžgØÿˆüцkUKÆÕÊÛÈÌí³ò„ÖÀúè×éÊá=$¶¸ºÂü vųÌÌÐ8‡�k¬á¹ú‚ñå^½N»a|�ñ,Œ|<­ƒ)hóNÌavN žeã[¨Ê>Þ »Y1ê`‡eme|ÇskÝw�½Êð})í,g¾LèË—ùÜûêÅæ[ñªéÛUþMŸßTçþþÄÒSoÊ=ˆ2W¢Ì•(s%Š2W¢ÌU‰Þۥ܃(¿GñŸÍ϶¾ÿ$uá]€šñY endstream endobj startxref 116 %%EOF